MÉTODO PARA DOSAGEM CONTROLADA DE UM GÁS COM PRESSÃO DE SUPRIMENTO FLUTUANTE (PSUPPLY) DO REFERIDO GÁS; CONTROLADOR E DISPOSITIVO PARA FLUXO CONTROLADO DE UM GÁS PARA UM PROCESSO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

MÉTODO PARA DOSAGEM CONTROLADA DE UM GÁS COM PRESSÃO DE SUPRIMENTO FLUTUANTE (P~ SUPPKLY~) DO REFERIDO GÁS, CONTROLADOR E DISPOSITIVO PARA FLUXO CONTROLADO DE UM GÁS PARA UM PROCESSO - Um método para dosagem controlada de um gás com pressão de suprimento flutuante (P~ supply ~). Dosagem do gás através de uma válvula (6) é realizada enquanto uma válvula (5) é fechada e a diminuição na pressão de volume de controle (P~ cv~) é registrada. A pressão de volume de controle (P~ cv~) é aumentada pelo fechamento de válvula de dosagem (6) e abertura da válvula (5). A quantidade do gás dosagem é calculada com base conhecido (V~cv~) do volume de controle (4) e pelo menos uma alteração na pressão de volume de controle (P~ cv~) e temperatura de volume de controle (T~ cv~) no período onde válvula (5) é fechada. A quantidade de gás dosada é comparada com um alvo ou ponto de ajuste ou regula o período de dosagem subsequente ou evento de dosagem.