DISPOSITIVO DE JUNÇÃO JOSEPHSON TIPO FERRADURA E O MÉTODO DE FABRICAÇÃO DO DISPOSITIVO

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Abstract

DISPOSITIVO DE JUNÇÃO JOSEPHSON TIPO FERRADURA E O MÉTODO DE FABRICAÇÃO DO DISPOSITIVO. A presente invenção se refere a um dispositivo de junção Josephson tipo ferradura e o método de fabricação do dispositivo. O método de fabricação é um método aprimorado para fabricar junções Josephson ao utilizar litografia por feixe de elétrons de 30 kV em conjunto com a técnica de Dolan. Embora o processo de feixe de elétrons de 30 kV esteja bem documentado em termos de etapas e processo, a geometria e a contribuição de elétrons retroespalhados não foram correlacionadas. A presente invenção aborda o desafio da reprodutibilidade ao aprimorar a precisão e consistência do processo de fabricação. Demonstra-se que a escolha de geometrias apropriadas aumenta significativamente as chances de sucesso, pois alguns designs são mais robustos a pequenas variações nos parâmetros do processo do que outros, um passo crítico em direção a circuitos quânticos supercondutores confiáveis e escaláveis para o processo de feixe de elétrons de 30 kV.