EQUIPAMENTO DEPOSITOR E ANALISADOR DE FILMES FINOS, SEU FUNCIONAMENTO E SEU PROCESSO DE DEPOSIÇÃO E ANÁLISE DE AMOSTRAS

IPC Classification

Abstract

EQUIPAMENTO DEPOSITOR E ANALISADOR DE FILMES FINOS, SEU FUNCIONAMENTO E SEU PROCESSO DE DEPOSIÇÃO E ANÁLISE DE AMOSTRAS. Um equipamento (1) para deposição de filmes finos em até doze amostras simultaneamente e seu processo para análise de espectrofotometria individual de cada amostra por um dispositivo analisador acoplado ao equipamento (1). Para tanto, o equipamento (1) é projetado com um cabeçote móvel (20) dotado de doze braços (28) em formação circular equipados com pinças (29) para sustentação de amostras de substrato (A). Cada pinça (29) está verticalmente alinhada a um de doze alojamentos (7) de béqueres (B) em padrão circular da carenagem (2) do equipamento (1). Dito cabeçote (20) é acoplado a e sustentado por uma torre central (10), a qual permite que o cabeçote realize movimentos rotatórios e verticais de subida e descida. O equipamento (1) recebe o acoplamento de um dispositivo do tipo espectrofotômetro (30) fixado entre dois dos doze alojamentos (7). Dessa forma, ao prender as amostras de substrato (A) nas pinças (29) (até doze amostras simultâneas), o cabeçote (20) poderá realizar os movimentos degiro, subida e descida controlados para introdução das amostras (A) nos béqueres (B) de material (F) disperso em solução - em ação de deposição - e posterior introdução de cada uma das amostras (A) no dispositivo (30) analisador, onde o operador tem acesso às qualidades do filme deposto em um mesmo equipamento, de forma rápida e eficaz.