SENSOR COM SENSIBILIDADES DESACOPLADAS DE MASSA E CARGA ELÉTRICA COM ELEMENTOS SENSÍVEIS DE ONDA ACÚSTICA DE SUPERFÍCIE

IPC Classification

Abstract

SENSOR COM SENSIBILIDADES DESACOPLADAS DE MASSA E CARGA ELÉTRICA COM ELEMENTOS SENSÍVEIS DE ONDA ACÚSTICA DE SUPERFÍCIE. Trata a presente invenção de um novo modelo de sensor de onda acústica de superfície (SAW), que de um lado usa S12 e do outro lado mede separadamente a contribuição do encurtamento elétrico da superfície dos piezoelétricos, e separa os efeitos de carga em massa e curto-circuito. Em particular, trata o problema de aprimoramento da sensibilidade e estabilidade, separando a resposta, que corresponde à variação de massa na superfície do elemento sensor, daquela correspondente a alterações da superfície do cristal criadas pela onda acústica de superfície (SAW).