MÉTODO PARA FABRICAR UMA CAMADA DE NITRETO DE ALUMÍNIO PADRONIZADA, E, DISPOSITIVO COM UMA CAMADA PADRONIZADA DE NITRETO DE ALUMÍNIO

IPC Classification

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Abstract

Um método para fabricar uma camada padronizada de nitreto de alumínio inclui o crescimento de uma camada padronizada amorfa em uma camada de semente que promove o crescimento de um primeiro tipo da camada de nitreto de alumínio que tem uma estrutura cristalográfica desordenada. A camada de semente promove o crescimento de um segundo tipo de camada de nitreto de alumínio com uma estrutura de cristal colunar verticalmente orientada. O método também inclui depositar uma camada de nitreto de alumínio sobre a camada padronizada amorfa e a camada de semente para formar a primeira camada de nitreto de alumínio com a estrutura cristalográfica desordenada sobre a camada padronizada amorfa e a segunda camada de nitreto de alumínio com a estrutura de cristal colunar orientada verticalmente sobre a camada de semente. O método também inclui depositar uma camada de máscara sobre o segundo tipo de camada de nitreto de alumínio e gravar a primeira camada de nitreto de alumínio.