GAIOLA CATÓDICA COM CATODO TIPO NINHO

IPC Classification

Abstract

Gaiola catódica com cátodo tipo ninho, um produto é pertencente às áreas de Física eMetalurgia, produzido através de fios usinados de titânio, os quais foram reutilizados paraprodudir uma gaiola catódica que se assemelha a um ninho. O presente pedido depatente, apresenta elevada densidade de área superficial e elevada densidade dearestas, e devido a esta configuração, observou-se um aumento substancial da taxa dedeposição do material constituinte da gaiola, o que possibilitou um aumento do plasma econsequentemente a produção de filmes mais espessos e homogêneos. Essacaracterística qualifica esse sistema como uma potencial fonte de produção de filmestanto para a indústria quanto para a área acadêmica e de pesquisa, uma vez que viabilizaa produção de superfícies condutoras (em geral metálicas) sobre diferentes substratos,garantindo um alto controle sobre as propriedades estruturais e físicas do material a serdepositado. Como a Gaiola catódica com cátodo tipo ninho, apresenta uma elevada densidade deárea superficial e uma grande densidade de pontas, resultantes do material usinado quefoi utilizado para a sua produção, tais pontas geram um aumento do campo elétrico queintensifica o plasma sobre a gaiola.