SISTEMA E MÉTODO DE REVESTIMENTO A VÁCUO E TRATAMENTO A PLASMA

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Abstract

SISTEMA E MÉTODO DE REVESTIMENTO A VÁCUO E TRATAMENTO A PLASMA. Trata-se de um sistema de revestimento a vácuo e tratamento a plasma que inclui um cátodo magnétron com uma borda longa e uma borda curta. O polo magnético do magnétron resulta em uma barreira eletromagnética. Pelo menos uma descarga por arco remoto é gerada separadamente do cátodo magnétron e em grande proximidade ao cátodo de modo que a mesma seja confinada em um volume adjacente ao alvo de magnétron. A descarga por arco remoto se estende paralelamente à borda longa do alvo de magnétron e é definida pela superfície do alvo em um lado e a barreira eletromagnética em todos os outros lados. Existe uma capa de cátodo e capa de ânodo de descarga por arco remoto que se estendem sobre a descarga por arco e através da borda curta do cátodo magnétron. Do lado de fora do conjunto de plasma fica um sistema magnético que cria linhas de campo magnético que se estendem para dentro e confinam o plasma na frente do substrato.