MÉTODO PARA ACOMPANHAR UMA OPERAÇÃO PARA A DESGASEIFICAÇÃO DE UM COMPONENTE COLOCADO EM UMA CÂMARA DE VÁCUO, ESPECTRÔMETRO DE MASSA E DISPOSITIVO DE DESGASEIFICAÇÃO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

MÉTODO PARA ACOMPANHAR A TAXA DE DESGASEIFICAÇÃO AO MEDIR AS PRESSÕES PARCIAIS MEDIDAS POR ESPECTROMETRIA DE MASSA. A presente invenção refere-se a um método para acompanhar a desgaseificação de um componente colocado em uma câmara de vácuo, o qual compreende as etapas que consistem em: - medição das pressões parciais Pi para um conjunto M de massas atômicas de referência, por meio de um espectrômetro de massa conectado à câmara de vácuo; - determinação de uma taxa de desgaseificação ?, pelo menos como uma função das pressões parciais medidas Pi; e - cálculo de uma inclinação da variação na taxa de desgaseificação. A taxa de desgaseificação ? pode ser vantajosamente determinada pelo cálculo por meio de uma relação do tipo: em que M denota o conjunto de massas atômicas da referência, Pi denota as pressões parciais para as massas atômicas medidas pelo espectrômetro de massa, os coeficientes ai denotam os coeficientes de ponderação associados com cada pressão parcial Pi, e N denota uma massa atômica máxima para a qual a pressão parcial Pi pode ser medida pelo espectrômetro de massa.