ACELERÔMETRO E MÉTODO DE MEDIÇÃO DE ACELERAÇÃO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

RESUMOPatente de Invenção: "ACELERÔMETRO TENDO ARQUITETURA DE FEEDBACK MÚLTIPLO PARA MASSA DE PROVA DETERMINADA". A presente invenção refere-se a certos métodos e sensores de acelerômetro descritos que empregam uma massa de prova que é acionada por caminhos de feedback múltiplo. Uma modalidade de sensor ilustrativa inclui um arranjo de eletrodo próximo a uma massa de prova, o arranjo de eletrodo fornecendo múltiplos centroides de força eletrostática na massa de prova. A modalidade de sensor ainda inclui caminhos de feedbacks múltiplos, cada caminho de feedback controlando independentemente uma força eletrostática para um centroide respectivo, e uma unidade de saída que converte sinais dos caminhos de feedback múltiplo para um sinal de saída responsivo à aceleração. Uma modalidade do método ilustrativo deriva sinais de feedback múltiplo a partir do pelo menos um sinal de deslocamento, aplica sinais de feedback múltiplo a um arranjo de eletrodos que acoplam de modo capacitivo a massa de prova a um substrato, e converte os sinais de feedback múltiplo em um sinal de aceleração.