ARTIGO REVESTIDO DE OXINITRETO DE ALUMÍNIO E MÉTODO PARA A PRODUÇÃO DO MESMO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

TRATA-SE DE UM ARTIGO REVESTIDO COMO UMA FERRAMENTA DE CORTE REVESTIDA OU PARTE DE DESGASTE REVESTIDA QUE INCLUI UM SUBSTRATO E UM ESQUEMA DE REVESTIMENTO NO SUBSTRATO. O ESQUEMA DE REVESTIMENTO TEM UMA CAMADA DE REVESTIMENTO CONTENDO TITÂNIO, E UMA CAMADA DE REVESTIMENTO DE OXINITRETO DE ALUMÍNIO NA CAMADA DE REVESTIMENTO CONTENDO TITÂNIO. O OXINITRETO DE ALUMÍNIO INCLUI UMA MISTURA DE FASES QUE TEM UMA ESTRUTURA DO TIPO NITRETO DE ALUMÍNIO HEXAGONAL (GRUPO DE ESPAÇO: P63mc), UMA ESTRUTURA DO TIPO NITRETO DE ALUMÍNIO CÚBICO (GRUPO DE ESPAÇO: Fm-3m), E OPCIONALMENTE UMA ESTRUTURA AMORFA. A CAMADA DE REVESTIMENTO DE OXINITRETO DE ALUMÍNIO TEM UMA COMPOSIÇÃO DE ALUMÍNIO EM UMA QUANTIDADE ENTRE CERCA DE 20 EM PORCENTAGEM ATÔMICA E CERCA DE 50 EM PORCENTAGEM ATÔMICA, NITROGÊNIO EM UMA QUANTIDADE ENTRE CERCA DE 40 EM PORCENTAGEM ATÔMICA E CERCA DE 70 EM PORCENTAGEM ATÔMICA, E OXIGÊNIO EM UMA QUANTIDADE ENTRE CERCA DE 1 EM PORCENTAGEM ATÔMICA E CERCA DE 20 EM PORCENTAGEM ATÔMICA. O MÉTODO DE PRODUÇÃO DO ARTIGO REVESTIDO INCLUI UMA ETAPA DE PROPORCIONAR UM SUBSTRATO E DEPOSITAR UMA CAMADA DE REVESTIMENTO DE OXINITRETO DE ALUMÍNIO A PARTIR DE UMA MISTURA GASOSA QUE INCLUI NITROGÊNIO, TRICLORETO DE ALUMÍNIO, AMÔNIA, DIÓXIDO DE CARBONO, CLORETO DE HIDROGÊNIO, OPCIONALMENTE MONÓXIDO DE CARBONO, OPCIONALMENTE ARGÔNIO, E HIDROGÊNIO.