PROCESSO PARA A GERAÇÃO DE UMA MISTURA DE FOSFINA E GÁS OU GASES DILUENTES, E, GERADOR DE FOSFINA ADEQUADO PARA A REALIZAÇÃO DO PROCESSO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

Patente de Invenção "PROCESSO PARA GERAR UMA MISTURA DE FOSFINA E GÁS OU GASES DILUENTES E GERADOR DE FOSFINA ADEQUADO PARA REALIZAR O PROCESSO". Descreve-se um processo e aparelho para a geração de uma mistura de gás(es) fosfina e diluente. Um fosfeto metálico hidrolisável, de preferência fosfeto de magnésio, é liberado diretamente na água líquida segundo uma atmosfera de gás inerte à fosfina e em uma forma em partículas isenta de fluxo, composta de partículas de fosfeto metálico desprendidas. A mistura gerada de gás condutor inerte e fosfina, por exemplo, CO~ 2~, é usada como tal ou é diluída em uma câmara misturadora de gás com ar em uma concentração abaixo do limite inflamável antes de ser usada na fumigação. Usando argônio como um gás condutor a mistura de fosfina é adequada para dopagem semicondutora.