"APARELHO E MÉTODO PARA REVESTIR UMA SUPERFÍCIE DE UM ARTIGO COM UMA CAMADA DE POLÍMERO DE PELÍCULA FINA POR MEIO DE DEPOSIÇÃO DE PLASMA,E,ARTIGO"

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

APARELHO E MÃTODO PARA REVESTIR UMA SUPERFÃCIE DE UM ARTIGO COM UMA CAMADA DE POLÃMERO DE PELÃCULA FINA POR MEIO DA DEPOSIÃÃO DE PLASMA, E, ARTIGO. Trata-se de um aparelho (10) para revestir uma superfície de um artigo (14) com uma camada de polímero da película fina por meio da deposição de plasma, em que o aparelho compreende: uma pluralidade de câmaras de processamento (12a, 12b, 12c,...12n) em que cada uma delas um ou mais artigos podem ser colocados; um dispositivo (18, 19, 20, 21, 22) para suprir uma espécie ativa à s ditas câmaras deprocessamento para formar um plasma nas ditas câmaras; uma pluralidade de dispositivos de indução (24) associados com as câmaras de processamento respectivas, em que cada um dos dispositivos de indução é operável para induzir internamente um campo elétrico de uma câmara de processamento associada para formar um plasma quando a dita espécie ativa é suprida à mesma de modo que uma superfície do dito artigo possa ser revestida com uma camada de polímero de película fina por meio da deposição de plasma; um dispositivo (26) para suprir uma corrente elétrica cronologicamente variável nos dispositivos da indução; e um dispositivo de controle de pressão (28) para controlar seletivamente a pressão nas ditas câmaras de processamento de maneira tal que a pressão em qualquer uma ou mais das ditas câmaras possa ser controlada independentemente da pressão em uma outra das ditas câmaras.