ARRANJO DECTOR PARA DETECTAR UM PADRÃO DE RADIAÇÃO GERADO POR REFLEXÃO DE UM FEIXE PRINCIPAL E UMA PLURALIDADE DE FEIXES LATERAIS EM UM PORTADOR DE REGISTRO DE CAMADA MÚLTIPLA, E, DISPOSITIVOS DE CAPTURA PARA UM PORTADOR DE REGISTRO DE CAMADA MÚLTIPLA E DE ACIONAMENTO PARA FORNECER ACESSO A UM PORTADOR DE REGISTRO DE CAMADA MÚLTIPLA

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

ARRANJO DETECTOR PARA DETECTAR UM PADRÃO DE RADIAÇÃO GERADO POR REFLEXÃO DE UM FEIXE PRINCIPAL E UMA PLURALIDADE DE FEIXES LATERAIS EM UM PORTADOR DE REGISTRO DE CAMADA MÚLTIPLA, E, DISPOSITIVOS DE CAPTURA PARA UM PORTADOR DE REGISTRO DE CAMADA MÚLTIPLA E DE ACIONAMENTO PARA FORNECER ACESSO A UM PORTADOR DE REGISTRO DE CAMADA MÚLTIPLA. A presente invenção se refere a uma configuração de detector, dispositivo de captura e dispositivo de guia para portador de registros várias camadas, onde meios detectores de feixe principal e dois pares de meios detectores de feixes secundários dispostos em lados opostos dos meios de detecção de feixe principal são fornecidos para suprimir efeitos de interferência. Como um exemplo, os dois sistemas de três pontos de luz obtidos podem ser usados para sinais de erro de foco e sinais de erro de rastreamento, respectivamente, onde pontos de luz colaterais podem ser controlados para ter um padrão de franja desejado ou em fase ou fora de fase com aquele do feixe principal. Além da redução de erros de foco e de rastreamento, as medidas acima permitem reduzir espessura da camada de espaçamento.