MÉTODO DE ESTUDAR UMA SUPERFÍCIE UTILIZANDO UM INTERFERÔMETRO, E, INTERFERÔMETRO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

MÉTODO DE ESTUDAR UMA SUPERFÍCIE UTILIZANDO UM INTERFERÔMETRO, E, INTERFERÔMETRO Método de estudar uma superfície utilizando um interferômetro, em que há movimento relativo entre a superfície e o interferômetro, o movimento tendo uma velocidade total V~ tot~ que inclui um componente transversal ou atravessante V~ t~e um componente longitudinal V~ 1~. O método compreende: direcionar um feixe de objeto de luz coerente para uma posição de medição na superfície, por meio do que há movimento relativo entre a superfície e a posição de medição; dispor um sistema de detectores no interferômetro, em uma linha estendendo-se genericamente na direção transversal, os detectores sendo dispostos para detectar raios de luz com diferentes direções angulares, representando diferentes direções de sensibilidade; produzir um feixe de referência de luz coerente, que seja coerente com o feixe de objeto; combinar o feixe de referência com o feixe de objeto refletido da superfície, para produzir uma interferência cruzada no padrão de salpicos, provendo informação acerca do movimento relativo da superfície e do interferômetro; detectar o padrão de salpicos e o padrão de interferência cruzada com os detectores; determinar que detector do sistema tem sensibilidade zero ou mínima para a velocidade total V~ tot~ do movimento, desse modo identificando o detector com uma linha de direção de sensibilidade, que é perpendicular a V~ tot~;monitorar a mudança temporal em que os detectores têm sensibilidade zero ou mínima, desse modo verificando a mudança de direção de V~ tot~ durante o tempo, realizada pelas mudanças de V~ 1~ e determinar as mudanças temporais de V~ 1~.