MÉTODOS PARA CALIBRAR OS NÍVEIS DE DOPAGEM PARA PELO MENOS DUAS CAMADAS DE DOPAGEM DELTA INCLUÍDAS EM UMA ESTRUTURA DE SEMICONDUTOR EM MULTICAMADA E PARA GERAR UMA ESTRUTURA DE SEMICONDUTOR EM MULTICAMADA, E, ESTRUTURAS DE SEMICONDUTOR EM MULTICAMADA E DE POÇO QUÂNTICO MÚLTIPLO

Classificação IPC

Resumo técnico

MÉTODOS PARA CALIBRAR OS NÍVEIS DE DOPAGEM PARA PELO MENOS DUAS CAMADAS DE DOPAGEM DELTA INCLUÍDAS EM UMA ESTRUTURA DE SEMICONDUTOR EM MULTICAMADA E PARA GERAR UMA ESTRUTURA DE SEMICONDUTOR EM MULTICAMADA, E, ESTRUTURAS DE SEMICONDUTOR EM MULTICAMADA E DE POÇO QUANTICO MÚLTIPLO. Em um método de calibração, a relação entre concentrações de dopante de camadas de dopagem em uma estrutura de semicondutor em multicamada e parâmetros de processo é determinada em S1, com base em espécimes em volume múltiplos do material no qual as camadas de dopagem estão localizadas. Uma concentração de dopante desejada é selecionada em S2, e a estrutura de semicondutor com níveis de dopagem predeterminados pode ser gerada em S3 com base na relação entre os parâmetros de processo e as concentrações de dopagem predeterminadas.