SISTEMA E MÉTODOS PARA PREPARAÇÃO DE REAGENTES VAPORIZADOS

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

"SISTEMA E MÉTODO PARA PREPARAÇÃO DE REAGENTES VAPORIZADOS". É realizada uma seleção de um ou mais precursores de revestimento (30). Uma câmara de vaporização (100) possui uma estrutura para injeção contínua do precursor de revestimento em estado líquido para o interior da câmara, para produção de um vapor (42). Uma parte desprovida de vedações, acionada magneticamente (24) realiza a rotação de uma estrutura para distribuição do precursor de revestimento em estado líquido no interior da câmara de vaporização. Em uma configuração, um gás de barreira (102) é injetado na adjacência da câmara a uma velocidade maior que a velocidade de difusão do vapor para impedir a ocorrência de uma comunicação do vapor com a parte acionada magneticamente. Em uma outra configuração, uma primeira parte da parte acionada magneticamente é acoplada a uma estrutura para distribuição do precursor de revestimento em estado líquido no interior da câmara de vaporização. A segunda parte, localizada em uma posição adjacente à primeira parte, porém fora da câmara de vaporização, acopla-se magneticamente à primeira parte e imprime uma rotação à mesma.