FONTE DE ARCO CATÓDICO

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Resumo técnico

FONTE DE ARCO CATÓDICO. A presente invenção refere-se a aparelho de evaporação por arco catódico que compreende: alvo (3) com superfície alvo (3') compreendendo superfície ativa (3'') de onde material pode ser evaporado em processo de arco catódico; confinamento (4) envolvendo limite externo da superfície alvo (3'); ânodo (2) com superfície receptora de elétrons (2', 2'', 2'''), o ânodo (2) abrangendo pelo menos um dentre o alvo (3) e o confinamento (4) em pelo menos um dentre plano alvo e distância axial na frente da superfície ativa; sistema magnético, essencialmente paralelo a pelo menos uma região externa da superfície alvo, com linhas de campo paralelas à superfície alvo ou inclinadas em ângulo agudo alfa, com superfície ativa (3'') definida em área de superfície (3') com linhas de campo à superfície alvo em ângulo agudo alfa = 45°; eixo central Z ou um plano central Z'; confinamento (4) e ânodo (2) em geometria fechada eletricamente isolados entre si, a distância mínima da superfície receptora de elétrons da superfície ativa definida por pelo menos um de uma distância radial r 14 de um limite externo da superfície alvo a um limite interno da superfície receptora de elétrons, externo r1 e interno r4 do meio do alvo e axial h1 da superfície para limite superior do confinamento ou axial h2 para inferior.