CIRCUITO INTEGRADO DE SISTEMA MICRO-ELETRO-MECÂNICO, ELEMENTO DE MEDIÇÃO E SENSOR DE PRESSÃO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

ResumoCIRCUITO INTEGRADO DE SISTEMA MICRO-ELETRO-MECÂNICO, ELEMENTO DE MEDIÇÃO E SENSOR DE PRESSÃO Um circuito integrado de sistema micro-eletro-mecânico (circuito integrado de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS)) para a medição de uma pressão em um espaço de pressão (D), compreendendo um substrato de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS) (30) e um substrato de suporte/carga (31), os quais são unidos, um ao outro, de uma maneira bidimensional, no qual o circuito integrado de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS) (3) se encontra na forma de uma haste e tem uma região de medição (4) com meios de medição eletromecânica e então uma região de bucha (11), e então uma região de formação de contato (6) a qual é conectada a região de medição (4) através de linhas (8) e tem contatos (16), e nos quais o circuito integrado de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS) (3) na região de bucha (11) é adequado para um arranjo apertado por pressão em uma bucha. De acordo com a invenção, os meios de medição eletromecânicos são configurados de tal maneira que o substrato de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS) (30) tem uma cavidade (5) formando um orifício/furo cego, a borda do qual forma uma membrana (7) no substrato de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS) (30), e uma ponte de medição (19) compreendendo elementos piezo resistivos (2) sobre aquele lado desta membrana (7) que fica de frente afastada a partir da cavidade (5). O substrato de sistema micro-eletro-mecânico (MEMS) (30) é unido ao substrato de suporte (31) com o lado da cavidade (5) voltado para o substrato de suporte (31), com o resultado que o substrato de suporte (31) forma uma parede inferior (50) da cavidade (5) formada sob a membrana (7).1/1