AQUECEDOR DE ALTA DEFINIÇÃO E MÉTODO DE OPERAÇÃO

Resumo técnico

AQUECEDOR DE ALTA DEFINIÃÃO E MÃTODO DE OPERAÃÃOUm aparelho é fornecido, a título de exemplo, um aquecedor para uso em equipamento de processamento semicondutor que inclui uma camada funcional base tendo pelo menos uma zona funcional. Um substrato é fixado e uma camada de ajuste é fixada ao substrato em oposição a camada funcional de base. A camada de ajuste inclui uma pluralidade de zonas que é maior em numero que as zonas da camada funcional base, e a camada de ajuste tem energia menor que a camada funcional base. Adicionalmente, um componente, tal como, por exemplo, uma bucha, é fixado à camada de ajuste oposta ao substrato. O substrato define uma condutividade térmica para dissipar uma quantidade solicitada de energia da camada funcional base.

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