PROCESSO DE OBTENÇÃO DE UM SUBSTRATO REVESTIDO SOBRE PELO MENOS UMA PARTE DE SUA SUPERFÍCIE DE PELO MENOS UMA CAMADA DE ÓXIDO DE UM METAL E SUBSTRATO OBTIDO POR TAL PROCESSO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

PROCESSO DE OBTENÃÃO DE UM SUBSTRATO REVESTIDO SOBRE PELO MENOS UMA PARTE DE SUA SUPERFÃCIE DE PELO MENOS UMA CAMADA DE ÃXIDO DE UM METAL E SUBSTRATO.A invenção tem por objeto um processo de obtenção de um substrato revestido sobre pelo menos uma parte de sua superfície de pelo menos uma camada de óxido de um metal M cuja espessura física é inferior ou igual a 30 nm, a dita camada de óxido não estando compreendida em um empilhamento de camadas compreendendo etapas seguintes: deposita-se por pulverização catódica pelo menos uma camada intermediária de um material escolhido dentro o metal M, um nitreto do metal M, um carboneto do metal M ou um óxido sub-estequiométrico em oxigênio do metal M, a dita camada intermediária não sendo depositada acima ou abaixo de uma camada à base de óxido de titânio, a espessura física da dita camada intermediária sendo inferior ou igual a 30 nm,oxida-se pelo menos uma parte da superfície da dita camada intermediária com a ajuda de um tratamento térmico, durante o qual a dita camada intermediária está em contato direto com uma atmosfera oxidante, notadamente com o ar, a temperatura do dito substrato durante o dito tratamento térmico não ultrapassando 150ºC.