ARRANJOS PARA EQUALIZAÇÃO DE IONIZAÇÃO EM REATORES DE PLASMA E DISPOSIÇÃO DE ELETRODOS

Classificação IPC

Resumo técnico

ARRANJOS PARA EQUALIZAÇÃO DE IONIZAÇÃO EM REATORES DE PLASMA E DISPOSIÇÃO DE ELETRODOS. Arranjos equalizadores formados por pelo menos um transformador de alta tensão com N enrolamentos, todos com mesma quantidade de espiras, conectado entre uma fonte de alta tensão e pelo menos N eletrodos. Quando a corrente que passa pelos eletrodos tem a mesma intensidade, nenhuma diferença de potencial é gerada pelo transformador, visto que os fluxos magnéticos gerados nos enrolamentos são contrários e, portanto, se cancelam. Quando a ionização entre os eletrodos está desbalanceada, existe também o desbalanço nas correntes que passam por eles, gerando então um fluxo magnético resultante diferente de zero, que ao ser enlaçado nos outros enrolamentos, gera tensão adicional no respectivo eletrodo, aumentando a ionização em suas adjacências e equilibrando a ionização. Para o caso de o número de eletrodos ser maior do que o número de saídas independentes do arranjo equalizador, dois ou mais eletrodos são conectados em cada saída sendo que os eletrodos devem ser dispostos fisicamente de modo que haja um intercalamento entre as saídas de forma que um eletrodo acionado por uma determinada saída tenha em suas adjacências somente eletrodos acionados por outras saídas.