MÉTODO PARA FABRICAR UM DISPOSITIVO DE CAPTURA DE IMAGEM DE ESTADO SÓLIDO, E, DISPOSITIVO DE CAPTURA DE IMAGEM DE ESTADO SÓLIDO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

MÉTODO PARA FABRICAR UM DISPOSITIVO DE CAPTURA DE IMAGEM DE ESTADO SÓLIDO, E, DISPOSITIVO DE CAPTURA DE IMAGEM DE ESTADO SÓLIDO. É descrito um método para fabricar um dispositivo de captura de imagem de estado sólido que inclui um substrato incluindo uma unidade de conversão fotoelétrica e uma guia de onda arranjada no substrato, e guia de onda correspondendo à unidade de conversão fotoelétrica e incluindo um núcleo e um revestimento, que inclui uma primeira etapa e uma segunda etapa, nas quais, na primeira etapa e na segunda etapa, um elemento a ser formado no núcleo é formado em uma abertura no revestimento por deposição química de vapor intensificada por plasma de alta densidade, na qual, depois da primeira etapa, na segunda etapa, o elemento a ser formado no núcleo é formado pela deposição quiímica de vapor intensificada por plasma de alta densidade em condições nas quais a razão da potência de radiofrequência no lado da face traseira do substrato para a potência de radiofrenquencia no lado da face do substrato é maior que na primeira etapa.