MÉTODO DE FOTOLITOGRAFIA INTELIGENTE

Classificazione IPC

Rivendicazioni di priorità

Abstract

"MÉTODO DE FOTOLITOGRAFIA INTELIGENTE" Método de fotolitografia que inclui as etapas de (a) formação de uma película através do revestimento de uma composição de formação de película apresentando uma resina de aglutinação e um material de formação de película em um substrato e secagem do resultante; (b) revestimento de maneira seletiva de uma composição foto-sensitiva compreendendo um fotosensibilizador em somente uma porção pré-determinada da película, de acordo com uma matriz de película desejada; (c) exposição do resultante obtido na etapa (b); e (d) formação de uma matriz de película desejada através do desenvolvimento do resultante exposto. Portanto, uma matriz de película apresentando excelentes características de película pode ser fácil e eficientemente fabricada. O método de fotolitografia pode ser aplicado a qualquer produto que necessite a formação de uma matriz de película, por exemplo, um VFD, CRT, FED ou PDP.