MÉTODO PARA DEPOSIÇÃO DE REVESTIMENTOS DE ALUMINA FINAMENTE DIVIDIDA SOBRE FERRAMENTAS DE CORTE

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Abstract

"MÉTODO PARA DEPOSIÇÃO DE REVESTIMENTOS DE ALUMINA FINAMENTE DIVIDIDA SOBRE FERRAMENTAS DE CORTE" A presente invenção se refere a um método de Deposição Química de Vapor por Plasma Ativado (PACVD) para o revestimento de ferramentas de corte baseadas em metal duro ou cermeto sinterizado, cerâmicas ou aço de alta velocidade, com um revestimento finamente granulado (5 nm a 200 nm) de -Al~ 2~O~ 3~ e/ou -Al~ 2~O~ 3~ com uma dureza (resistência) maior do que ou igual a 19 Gpa, o referido método compreendendo o plasma sendo produzido pela aplicação de uma voltagem DC de pulso bipolar entre dois eletrodos ou dois conjuntos de eletrodos aos quais os corpos de substrato a serem revestidos são posicionados fixos e eletricamente conectados, onde os referidos eletrodos ou os conjuntos de eletrodos agem alternativamente como o(s) anodo(s) ou o(s) catodo(s), e onde os reagentes químicos são AlCl~ 3~, H~ 2~ e Argônio juntamente com um doador de oxigênio escolhido de O~ 2~, CO~ 2~, CO ou NO~ 2~, onde a freqüência de pulso é ajustada entre 5 kHz e 100 kHz, preferivelmente entre 8 kHz e 20 kHz, onde as amplitudes de pulso são ajustadas na faixa de 300 Volts a 1.000 Volts, preferivelmente na faixa de 600 Volts e 900 Volts e onde a temperatura de substrato está na faixa de 500 °C a 800 °C, preferivelmente 550 °C a 650 °C, dependendo do material do corpo de ferramenta sendo revestido.