SISTEMA DE PROCESSAMENTO DE MICROPLAQUETAS, MÓDULO DE BOMBA RAREFATORA E PROCESSOS DE TRATAR UMA MICROPLAQUETA SEMICONDUTORA E DE BOMBEAR UMA CÂMARA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção "SISTEMA DE PROCESSAMENTO DE MICROPLAQUETAS, MÓDULO DE BOMBA PAREFATORA E PROCESSOS DE TRATAR UMA MICROPLAQUETA SEMICONDUTORA E DE BOMBEAR UMA CÂMARA". Um sistema de processamento de microplaquetas incluindo uma câmara de processamento, uma bomba de baixa pressão acoplada com a câmara de processamento para bombear gases nobres e não-nobres, um mecanismo de válvula acoplado uma fonte de gás nobre com a câmara de processamento, uma bomba refratora in situ disposta no interior da câmara de processamento que bombeia determinados gases não-nobres durante o fluxo do gás nobre para o inteior da câmara, e um mecanismo processador para processar uma microplaqueta disposta no interior da câmara de processamento. De preferência, a bomba rarefatora in situ pode ser operada a um número de diferentes temperaturas para prefeecnialmente bombear diferentes espécies de gás aquelas temperaturas. Um analisador de gás é usado para controlar automaticamente a temperatura da bomba rarefatora para controlar as espécies de gases que são bombeados da câmara. Um processo para processar uma microplaqueta da presente invenção inclui as etapas de colocar uma microplaquetas no interior da câmara de processamento e selar a câmara, fluir em gás nobre para o inteiror da câmara enquanto simultaneamente bombeando a câmara com uma bomba de baixa pressão e com uma bomba rarefatora in situ disposta no inteiror da câmera que bombeia gases não-nobres, e processar a microplaqueta dentro da câmera enquanto o gás nobre continua a fluir. O processo também de preferência inclui as etapas de monitorar a composição do gás dentro da câmera e controlar a temperatura do material rarefator com base na alálise da composição.