APARELHO DE SUBLIMAÇÃO CATÓDICA, E PROCESSO PARA DEPOSITAR PELÍCULA DELGADA SOBRE SUPERFÍCIE DE OBJETO DENTRO DE UM APARELHO DE SUBLIMAÇÃO CATÓDICA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Um aparelho para sublimação catódica intensificada com magnétron (10) inclui um catodo tipo barra alongada ou barra (12) encamisado pelo material alvo (28). Um dispositivo para intensificação de emissão de electrons (34) posicionado em torno da extremidade (55) do catodo alongado (12) cria uma cobertura altamente uniforme de plasma ao longo do resto do catodo (12), aumentando dessa forma a taxa de sublimação catódica ao longo do comprimento inteiro do material alvo do catodo. Um suprimento de magneto (50) de barra voltagem, alta corrente CC ou CA conectado através do catodo alongado (12) gera um campo magnético que confina o plasma circunferencialmente em torno do comprimento inteiro do catodo (12). Em uma configuração alternativa, um tubo ou barra alongado do material alvo pode ser conformado no catodo, o dispositivo de intensificação de emissão de electrons, e uma parte de trabalho extrema que pode ser formada em praticamente qualquer forma para conformar-se à forma da superfície que está sendo revestida com o material alvo.