SONDA DE MEDIÇÃO PARA MEDIÇÃO NÃO DESTRUTIVA DA ESPESSURA DAS CAMADAS FINAS

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Abstract

SONDA DE MEDIÇÃO PARA MEDIÇÃO NÃO DESTRUTIVA DA ESPESSURA DAS CAMADAS FINAS. A invenção refere-se a uma sonda de medição para medição não destrutiva da espessura de camadas finas, em particular em cavidades, que são acessíveis por uma abertura ou sobre superfícies curvadas, com uma cabeça de medição (17), que compreende pelo menos um elemento de sensor (18) e pelo menos uma tampa esférica de contato (31), atribuida ao elemento de sensor (18) sobre uma superfície (27), a ser verificada, da cavidade (26), e com um elemento de apoio (12) para posicionar e guiar uma sonda de medição (11) sobre e/ou ao longo da superfície (27) a ser medida, pela qual no elemento de apoio (12), uma barra de guia (16) longa e elasticamente flexível é fornecida, que aceita pélo menos uma cabeça de medição (17, 60) sobre sua extremidade oposta ao elemento de apoio (12), de forma que seja móvel com pelo menos um grau de liberdade com relação a barra de guia (16).