MÉTODO PARA CALIBRAR UM DISPOSITIVO SENSOR DE REVESTIMENTO PARA MEDIR A QUANTIDADE DE MATERIAL DE REVESTIMENTO EM UM SUBSTRATO DE FOLHA REVESTIDO, DISPOSITIVO SENSOR DE RESVESTIMENTO, E MÉTODO PARA CONTROLAR A FORMAÇÃO DE UM SUBSTRATO DE FOLHA REVESTIDO

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Abstract

MÃTODO PARA CALIBRAR UM DISPOSITIVO SENSOR DE REVESTIMENTO PARA MEDIR A QUANTIDADE DE MATERIAL DE REVESTIMENTO EM UM SUBSTRATO DE FOLHA REVESTIDO, DISPOSITIVO SENSOR DE REVESTIMENTO, E MÃTODO PARA CONTROLAR A FORMAÃÃO DE UM SUBSTRATO DE FOLHA REVESTIDO.Uma técnica de peso de revestimento diferencial aperfeiçoada emprega um novo algoritmo para medir o peso de um material de revestimento que foi depositado em uma folha de substrato. A invenção emprega medidores duplos de raiosX ou nucleares de modo que, muito embora o sensor a jusante nunca seja exposto a substrato de folha não revestido, transmitindo ao sensor à jusante a capacidade de prever resultados que ele teria rendido quando medindo o substrato de folha não revestido, levam ao desenvolvimento de um protocolo de calibração de peso de revestimento do qual o peso de base do revestimento pode ser verificado diretamente de medições dos sensores a montante e a jusante. Nenhuma subtração de resultados é necessária. Além disso, os dois sensores não precisam ser recalibrados sempre que as proporções relativas do revestimento e do substrato de base mudarem. A técnica é particularmente adequada para aplicações onde o material de revestimento e o substrato são feitos de substâncias que têm números atômicos muito diferentes.