MÉTODO DE PRÉ TRATAMENTO DE SUSBTRATOS PARA PROCESSOS PVD E SEU USO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

MÃTODO DE PRÃ-TRATAMENTO DE SUBSTRATOS PARA PROCESSOS PVD, por tratar a invenção de um método para o tratamento superficial de peças de trabalho em um equipamento de tratamento a vácuo compreendendo um primeiro eletrodo, que é projetado como parte de uma fonte de vaporização a arco, sendo que uma centelha é gerada com uma corrente de centelha a partir do primeiro eletrodo e com a qual o material do alvo é vaporizado e se deposita pelo menos parcialmente e pelo menos por um período de tempo sobre as peças de trabalho, e que compreende ainda um segundo eletrodo projetado como suporte para as peças de trabalho e que forma juntamente com as peças de trabalho um eletrodo de polarização, sendo que ao eletrodo de polarização uma tensão de polarização é aplicada através de uma tensão de polarização, sendo que a tensão de polarização é aplicada de acordo com a corrente da centelha de tal maneira que em termos líquidos substancialmente nenhum acúmulo de material ocorra na superfície.