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APARELHO PARA DEPOSIÇÃO DE PELÍCULA

Arquivada/ExtintaInvention PatentPCT · JP2009053458

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Application data

Number

PI0904846

Type

Invention Patent

Filing

02/25/2009

Publication

06/30/2015

PCT

JP2009053458

View on INPI

Progress at the INPI

Filing02/25/09
Publication06/30/15
Abandoned
Allowance
Grant
In force

The application was abandoned for failure to pay the annuities (art. 86 of the Brazilian IP Act). The technology is in the public domain in Brazil.

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Latest action published by the INPI: 04/05/2016. We update with every new RPI gazette, published weekly.

Applicants and inventors

Applicants

NGK Insulators, LTD.

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Inventors

T. S. (pessoa física)

T. T. (pessoa física)

Technical data

IPC Classification

C23C 16/50 C23C 16/515 C23C 16/54

Priority claims

2008-247728 · 09/26/2008

Abstract

APARELHO PARA DEPOSIÃÃO DE PELÃCULA.A presente invenÃ§Ã£o refere-se a unidades de deposiÃ§Ã£o de pelicula 54, cada uma incluindo dois elÃ©trodos, cada unidade de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54 sendo configurada para gerar um plasma entre os dois elÃ©trodos para cobrir substratos 90 com pelÃculas de DLC, uma cÃ¢mara 12 na qual as vÃ¡rias unidades de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54 sÃ£o dispostas e um abastecimento de forÃ§a pulsado 60 incluindo circuitos elÃ©tricos 62 que sÃ£o dispostos para as unidades de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54 respectivas, os circuitos elÃ©tricos 62 aplicando uma voltagem de pulso DC entre um elÃ©trodo de suporte 51 e um contraelÃ©trodo 52 de cada uma das unidades de deposiÃ§Ã£o de pelÃcula 54.

Prosecution history

Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).

Arquivamento definitivo por descumprimento

#8.11

Em virtude do arquivamento publicado na RPI 2343 de 01-12-2015 e considerando ausência de manifestação dentro dos prazos legais, informo que cabe ser mantido o arquivamento do pedido de patente, conforme o disposto no artigo 12, da resolução 113/2013.

04/05/2016

RPI 2361

Arquivamento por falta de pagamento

#8.6

Referente à 6ª anuidade.

12/01/2015

RPI 2343

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

06/30/2015

RPI 2321

Alteração de dados cadastrais

#1.1

08/30/2011

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