DISPOSITIVO DE ONDA DE SUPERFÍCIE ELÁSTICO, DISPOSITIVO MODULAR, CIRCUITO DE OSCILAÇÃO E MÉTODO DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVO DE ONDA DE SUPERFÍCIE ELÁSTICO

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Abstract

DISPOSITIVO DE ONDA DE SUPERFÍCIE ELASTICO, DISPOSITIVO MODULAR, CIRCUITO DE OSCILAÇÃO E MÉTODO DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVO DE ONDA DE SUPERFÍCIE ELÁSTICO. Um objetivo é fornecer um dispositivo SAW tipo onda SH que é um dispositivo de onda acústica de superfície que usa um substrato de quartzo e que é pequeno e com um grande valor Q e excelentes características de envelhecimento da freqüência. Um dispositivo de onda acústica de superfície tipo onda SH inclui um substrato piezelétrico e um eletrodo IDT fornecido no substrato piezelétrico e constituído de A1 ou de uma liga contendo principalmente Aí e que usa uma onda SH como uma onda de estímulo. O substrato piezelétrico é uma placa de cristal na qual um ângulo de corte de um substrato de quartzo de corte Y rotativo é ajustado em uma faixa de -64,0 no sentido anti-horário a partir do eixo geométrico Z do cristal e na qual uma direção da propagação da onda acústica de superfície é ajustada em 90 5 em relação ao eixo geométrico X do cristal. No dispositivo de onda acústica de superfície tipo onda SH, uma espessura do filme do eletrodo H/À padronizada por um comprimento de onda do eletrodo IDT é 0,04 H/ 0,12, onde é um comprimento de onda da onda acústica de superfície a ser estimulada, e uma superfície principal do substrato piezelétrico é gravada em uma espessura de 0,002 m ou mais.