MICROESPELHO DISCRETAMENTE CONTROLADO (DCM) E ARRANJO DO MESMO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

MICROESPELEHO DISCRETAMENTE CONTROLADO (DCM) E ARRANJO DO MESMO. Esta invenção provê os dois tipos de Microespelho Discretamente Controlado (DCM), que podem superar as desvantagens dos microespelhos eletrostáticos convencionais. O microespelho do primeiro tipo é um Microespelho Discretamente Controlado de Suporte Variável (VSDCM), o qual tem uma faixa de deslocamento mais ampla do que o microespelho eletrostático convencional. A exatidão de deslocamento do VSDCM é melhor do que aquela do microespelho eletrostático convencional, e a baixa voltagem de acionamento é compatível com os componentes IC. O segundo tipo de DCM, o Microespelho Discretamente Controlado de Eletrodo Segmentado (SEDCM) tem as mesmas desvantagens que o microespelho eletrostático convencional. Mas, o SEDCM é compatível com técnicas conhecidas de microeletrônica.