SENSOR DE PRESSÃO PIEZORESISTIVO EM SUBSTRATO COMPOSTOS

IPC Classification

Abstract

"SENSOR DE PRESSÃO PIEZORESISTIVO EM SUBSTRATOS COMPOSTOS". Patente, de invenção tem por objetivo de um sensor de pressão, para aplicações na indústria química, petroquímica, farmacêutica, biomédica, alimentícia, naval, aeroespacial, saneamento básico, geração de energia e controle de processo e ao qual foi dada original construção. O sensor de pressão por sua vez engloba a tecnologia no estado da arte de circuitos integrados construídos monoliticamente sobre um substrato (lâmina) de silício com tecnologia SOI (silício sobre isolante), SOS (silício sobre safira) e SiC (carbeto de silício). O circuito integrado que forma o sensor de pressão é composto por ponte de wheatstone ou apenas um elemento formados por resistores obtidos por processos de implantação iônica, difusão ou ainda por camadas de polisilício. Poderá possuir circuito integrado para condicionamento de sinais do sensor em conjunto ou mesmo em outro corpo. Uma membrana é fabricada no próprio substrato com tecnologia de microusinagem. O sensor poderá possuir ou não um substrato de vidro pyrex localizado no lado corroido da lâmina que serve para aumentar a rigidez mecânica do substrato de silício.