SENSOR DE SAW DE TEMPERATURA ESTÁVEL COM CONSTANTES ELÁTICAS DE TERCEIRA ORDEM

IPC Classification

Priority claims

Abstract

"SENSOR DE SAW DE TEMPERATURA ESTÁVEL COM CONSTANTES ELÁSTICAS DE TERCEIRA ORDEM". Um sensor de onda acústica de superfície (SAW) compreende um transdutor (24) provido sobre um substrato (23), onde o transdutor (24) é orientado sobre o substrato (23) de modo que a direção de propagação de onda acústica seja tal que a variação de saída do sensor com a temperatura, associada à variação das constantes elásticas de terceira ordem de substrato com a temperatura, substancialmente igual, mas oposta à soma total da variação de saída do sensor com a temperatura associada ao coeficiente de temperatura linear de substrato de expansão e com as variações com a temperatura das constantes elásticas de terceira ordem não nulas de substrato, as constantes elásticas de primeira ordem de substrato e a densidade de substrato. O efeito de variação de temperatura sobre a saída de sensor, assim, é minimizado. Isso é obtido com um arranjo de 35 graus ou com redes reflexivas inclinadas em um ângulo de 3,1 graus com a normal. Adicionalmente, uma embalagem robusta com um prato é dada. Uma aplicação em particular é a medição de torque.