REVESTIMENTO PARA REDUZIR AS TEMPERATURAS DE OPERAÇÃO DOS COMPONENTES DA CÂMARA DE UM APARELHO DE REVESTIMENTO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: "REVESTIMENTO PARA REDUZIR AS TEMPERATURAS DE OPERAÇÃO DOS COMPONENTES DA CÂMARA DE UM APARELHO DE REVESTIMENTO" . Um componente (10) para utilização em um ambiente de alta temperatura tal como uma câmara de revestimento de um aparelho de PVD. Uma camada refletiva (14) sobre o componente (10) serve como uma barreira para uma transferência de calor radiante para o componente (10) pela reflexão da radiação térmica. O revestimento (14) compreende pelo menos um par de camadas refletivas (16, 18, 20, 22), cada camada (16, 18, 20, 22) sendo formada de um material que é essencialmente transparente aos comprimentos de ondas eletromagnéticas de entre 500 e 3000 nanômetros (nm). Em adição, o material da camada mais externa (18, 22) do par (16, 18, 20, 22) tem um índice de refração mais alto que o material da outra camada (16, 20) do par (16, 18, 20, 22).