MÉTODO E CONJUNTO DE SENSORIAMENTO PARA MEDIR A ESPESSURA DE PELO MENOS UMA CAMADA DE REVESTIMENTO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

A presente invenção refere-se a um método e a um conjunto sensor para medir, de forma não destrutiva, a espessura de uma camada de revestimento formada num substrato de uma peça de trabalho, em que uma primeira camada de revestimento feita de um material eletricamente condutor e diamagnético ou paramagnético está opcionalmente disposta sobre uma segunda camada de revestimento feita de um material ferromagnético, compreendendo o método os passos de (a) colocação de uma cabeça de sensor de indutância perto da peça de trabalho; (b) medir a indutância a uma pluralidade de frequências dentro de uma gama de frequências para obter um espetro de indutância, e medir a indutância a uma frequência predeterminada que se situa no terço inferior da gama de frequências ou abaixo do limite inferior da gama de frequências; (c) determinar uma frequência caraterística a partir do espetro de indutância, que é a frequência em que o ângulo de fase da indutância é de -90°; (d) calcular a espessura da primeira camada de revestimento a partir da frequência caraterística; e (e) calcular a espessura da segunda camada de revestimento a partir da indutância à frequência predeterminada e da espessura calculada da primeira camada de revestimento.