ELIPSÔMETRO DE IMAGEM PARA MEDIÇÃO DE ESPESSURA DE CAMADA DE ÁREA DE UMA AMOSTRA E MÉTODO USANDO UM ELIPSÔMETRO DE IMAGEM

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Abstract

ELIPSÔMETRO DE IMAGEM PARA MEDIÇÃO DE ESPESSURA DE CAMADA DE ÁREA DE UMA AMOSTRA E MÉTODO USANDO UM ELIPSÔMETRO DE IMAGEM. A invenção se refere a um elipsômetro de imagem (1) para a medição de área da espessura de camada de uma amostra preferencialmente cilíndrica (2), incluindo uma fonte de luz monocromática (3) configurada para brilhar luz na amostra (2), um polarizador (4) configurado para polarizar a luz emitida pela fonte de luz (3), uma lente seletiva de ângulo (5) e uma câmera de polarização (6). A câmera de polarização (6) tem filtros de polarização nas orientações de 0°, 45°, 90° e 135° e é adaptada para polarizar a luz emitida pela fonte de luz (3) em orientações de polarização linear e para detectar e medir suas respectivas intensidades de luz. Uma placa de quarto de onda (7) é disposta entre a amostra (2) e a câmera de polarização (6) a fim de alterar a polarização da luz, cuja placa de quarto de onda é adaptada para converter determinadas orientações de polarização linear da luz em orientações de polarização circular e o elipsômetro (1) é adaptado para calcular uma razão dependente de espessura de camada das intensidades de luz detectadas usando as equações RZ = (IR-IL) / (IR+IL) e R45 = (I45-I-45) / (I45+I-45), onde IR é uma intensidade de luz na orientação de polarização circular direita, IL é uma intensidade de luz na orientação de polarização circular esquerda, I45 é uma intensidade de luz na orientação de polarização linear de 45° e I-45 é uma intensidade de luz na orientação de polarização linear de 135°. Além disso, a invenção se refere a um método usando um elipsômetro de imagem (1).