MÉTODO PARA CALIBRAÇÃO DE APARELHOS DE REVESTIMENTO ÓPTICO

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Abstract

MÉTODO PARA CALIBRAÇÃO DE APARELHOS DE REVESTIMENTO ÓPTICO. A presente invenção refere-se a um método implementado por computador (20) de geração de dados para calibração de aparelhos de revestimento óptico configurados para aplicar revestimentos ópticos em superfícies de substratos. O método é caracterizado por: medir dados espectrais de um revestimento óptico de teste tendo uma ou mais camadas de revestimento aplicadas mediante um aparelho de revestimento óptico (12, 107, 405) em uma primeira localização; enviar um arquivo de dados de revestimento contendo os dados espectrais para uma segunda localização; comparar (26), na segunda localização, os dados espectrais medidos do revestimento óptico de teste aplicado mediante o aparelho de revestimento óptico com dados de especificação alvo do revestimento óptico de teste para o aparelho de revestimento óptico; e determinar (28), na segunda localização, fatores de correção para corrigir divergências em relação aos dados de especificação alvo para o aparelho de revestimento óptico com base na comparação dos dados espectrais medidos com os dados de especificação alvo; e receber um arquivo de dados alvo contendo os fatores de correção na primeira localização e calibrar o aparelho de revestimento óptico (12, 107, 405) ajustando pelo menos um parâmetro de operação do aparelho de revestimento óptico (12, 107, 405) com base nos fatores de correção para corrigir as divergências dos dados de especificação alvo.