AJUSTE FINO DE CAPACITÂNCIA POR PROJETO DE CAPACITOR DE REBARBA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

AJUSTE FINO DE CAPACITÂNCIA POR PROJETO DE CAPACITOR DE REBARBA.Um dispositivo inclui um capacitor principal (410) composto por uma primeira placa (412) de uma primeira camada de metalização back-end-of-line (BEOL), uma camada de isolador principal na primeira placa e uma segunda placa na camada de isolador principal. A segunda placa é composta por uma segunda camada de metalização BEOL. O dispositivo inclui um primeiro capacitor de ajuste (420-1) de uma primeira parte de um primeiro traço de interconexão BEOL (418) acoplado à primeira placa do capacitor principal através dos primeiros traços de linha lateral BEOL (428). O primeiro capacitor de ajuste é composto por uma primeira camada isolante em uma superfície e paredes laterais da primeira parte do primeiro traço de interconexão BEOL. O primeiro capacitor de ajuste inclui um segundo traço de interconexão BEOL (432-1) em uma superfície e paredes laterais da primeira camada isolante. O dispositivo inclui um primeiro pad de captura de via (430-1) acoplado ao segundo traço de interconexão BEOL do primeiro capacitor de ajuste.