PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROSSENSORES DE GAS MULTI-PIXEL COM MÚLTIPLAS CAPACIDADES DE DETECÇÃO

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Abstract

PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROSSENSORES DE GAS MULTI-PIXEL COM MÚLTIPLAS CAPACIDADES DE DETECÇÃO. A presente invenção refere-se a um método para a fabricação de microssensores de gás multi-pixel, em que cada microssensor de gás multi-pixel compreende pelo menos um primeiro grupo pixel tendo um primeiro material de detecção e um segundo grupo pixel tendo um segundo material de detecção diferente do primeiro material. O método compreende uma primeira etapa de prover um substrato de pastilha e processar o substrato de pastilha para construir uma pluralidade de microssensores de múltiplos pixels tendo primeiro e segundo grupos de pixels, uma segunda etapa de selecionar materiais de detecção para cada um dos grupos de pixels, e uma terceira etapa de ativação do primeiro e segundo grupo de pixels mediante o revestimento de pares de eletrodo do primeiro e segundo grupos de pixels com os materiais de detecção correspondentes selecionados.