DISPOSITIVO DE DEPOSIÇÃO DE PELÍCULA E MÉTODO DE DEPOSIÇÃO DE PELÍCULA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

DISPOSITIVO DE DEPOSIÇÃO DE PELÍCULA E MÉTODO DE DEPOSIÇÃO DE PELÍCULA. São fornecidos um aparelho de deposição de película e um método de deposição de película capazes de controlar com precisão distribuição circunferencial de espessura de uma película formada sobre uma peça de trabalho. O método e aparelho de deposição de película incluem fazer a quantidade total de energia elétrica fornecida a uma primeira fonte de evaporação maior do que a quantidade total de energia elétrica fornecida a uma segunda fonte de evaporação durante o período para formação da película de modo que uma porção formada por partículas emitidas a partir da superfície de emissão da primeira fonte de evaporação seja mais grossa que uma porção formada por partículas emitidas a partir da superfície de emissão da segunda fonte de evaporação na película formada sobre uma superfície de deposição da peça de trabalho.