SENSOR ÓPTICO IMPLANTÁVEL E MÉTODO PARA FABRICAR UM SENSOR ÓPTICO IMPLANTÁVEL

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Trata-se de um sensor óptico implantável que compreende um circuito integrado fotônico que compreende um substrato (2) e uma microestrutura óptica (3) integrada com o substrato (2). A microestrutura óptica é posicionada para formar uma área de interação óptica exposta (4) em uma parte de uma superfície (5) do substrato (2). Uma tampa de cobertura (6) é vedada sobre uma parte do substrato (2) adjacente à área de interação óptica (4) e por tecnologia de ligação wafer a wafer ou outra técnica de embalagem hermética em nível de wafer. Pelo menos um componente ativo (8) é posicionado em uma cavidade vedada (9) que é formada entre a superfície (5) e a tampa de cobertura (6). O substrato (2) compreende pelo menos uma passagem condutora óptica (10), que é um guia de ondas embutido que se estende a partir da cavidade vedada (9) para a área de interação óptica (4).