MÉTODO PARA OTIMIZAÇÃO DE CAMADA A CAMADA DE UMA PELÍCULA FINA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

É aqui fornecido um método de revestimento de um substrato. O método inclui o fornecimento de pelo menos um substrato de teste, b) uma espessura (T) física programada para pelo menos uma camada do revestimento multicamada, e c) um arquivo de desenho compreendendo uma espessura física alvo e um desempenho espectral alvo para a, pelo menos uma, camada do revestimento multicamada; a deposição da, pelo menos uma, camada no substrato de teste para formar uma camada aplicada tendo uma espessura óptica; a medição de um desempenho espectral da camada aplicada; e a comparação da espessura (T) física programada com a espessura óptica da camada aplicada, gerando assim um conjunto de dados (¿T). Igualmente, são revelados um sistema e um artigo óptico produzido pelo método aqui descrito.