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APARELHO PARA FORMAÇÃO DE PELÍCULA, MÉTODO PARA FABRICAÇÃO DE PRODUTO FORMADO DE PELÍCULA USANDO O MESMO, E PAINEL DE RESFRIAMENTO

ArquivadaInvention PatentPCT · JP2017041326

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Application data

Number

112019011611

Type

Invention Patent

Filing

11/16/2017

Publication

10/15/2019

PCT

JP2017041326

View on INPI

Progress at the INPI

Filing11/16/17
Publication10/15/19
Abandoned
Allowance
Grant
In force

The application was abandoned: the INPI technical office action was not answered in time (art. 36 of the Brazilian IP Act). The technology is in the public domain in Brazil.

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Latest action published by the INPI: 07/11/2023. We update with every new RPI gazette, published weekly.

Applicants and inventors

Applicants

KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)

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Inventors

H. F. (pessoa física)

T. S. (pessoa física)

Technical data

IPC Classification

C23C 14/24 C23C 14/34 C23C 14/54

Priority claims

2016-237628 · 12/07/2016

Abstract

É fornecido um aparelho formador de película (1) com uma estrutura simples e reduzida. O aparelho formador de película (1) inclui pelo menos um alvo (4) tendo uma face oposta que se opõe a um substrato (W), uma pluralidade de suportes de alvo (5) cada um suportando de forma destacável o alvo (4), uma unidade de resfriamento (6) que resfria uma pluralidade dos suportes de alvo (5), e pelo menos um painel de resfriamento (7). O pelo menos um painel de resfriamento (7) inclui uma peça retida (7d) mantida pelo suporte de alvo (5), e uma peça receptora de calor (7b) tendo uma face receptora de calor (7e) que se opõe ao substrato (W) com a peça retida (7d) mantida pelo suporte de alvo (5) e recebendo calor de radiação emitido do substrato (W). A peça retida (7d) transfere calor da face receptora de calor (7e) para o suporte de alvo (5). Cada suporte de alvo (5) retém seletivamente o alvo (4) ou o painel de resfriamento (7).

Prosecution history

Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).

Arquivamento - Art. 36 §1° da LPI

#11.2

07/11/2023

RPI 2740

Exigência - art. 36 da LPI

#6.1

04/04/2023

RPI 2726

Adição na publicação

#15.35

10/13/2021

RPI 2649

Parecer de pré-exame

#6.23

08/03/2021

RPI 2639

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

10/15/2019

RPI 2545

Alteração de dados cadastrais

#1.1

06/25/2019

RPI 2529

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