PONTOS DE REFERÊNCIA/MARCADORES DE ALINHAMENTO VISÍVEIS PARA ALINHAMENTO DE CAD-PARA-IMAGEM DA PARTE POSTERIOR DO SILÍCIO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

A presente invenção refere-se a um IC MOS que inclui uma primeira célula padrão incluindo primeiro e segundo trilhos de energia, primeira e segunda regiões ativas, e uma pluralidade de interconexões de metal. O primeiro trilho de energia se estende em uma primeira direção e fornece uma primeira tensão à primeira célula padrão. O segundo trilho de energia se estende na primeira direção e fornece uma segunda tensão à primeira célula padrão. A primeira região ativa está entre o primeiro e o segundo trilhos de energia em um primeiro lado da primeira célula padrão. A segunda região ativa está entre o primeiro e o segundo trilhos de energia em um segundo lado da primeira célula padrão. A segunda região ativa é separada da primeira região ativa. A pluralidade de interconexões de metal se estende em uma segunda direção entre a primeira e a segunda regiões ativas e entre o primeiro e o segundo trilhos de energia. A segunda direção é ortogonal à primeira direção.