FONTE DE PLASMA QUE UTILIZA UM REVESTIMENTO DE REDUÇÃO DE MACRO PARTÍCULA E MÉTODO DE USAR A FONTE DE PLASMA QUE UTILIZA UM REVESTIMENTO DE REDUÇÃO DE MACRO PARTÍCULA PARA A DEPOSIÇÃO DE REVESTIMENTOS DE FILME FINO E MODIFICAÇÃO DE SUPERFÍCIES

IPC Classification

Abstract

A presente invenção refere-se em geral a uma fonte de plasma que utiliza um revestimento de redução de macro partícula e método de usar a fonte de plasma que utiliza a redução de macro partícula para a deposição de revestimentos de filme fino e modificação de superfícies. Mais particularmente, a presente invenção refere-se a uma fonte de plasma que compreende um ou mais eletrodos de geração de plasma, em que um revestimento de redução de macro partícula é depositado em pelo menos uma porção das superfícies de geração de plasma dos um ou mais eletrodos para proteger as superfícies de geração de plasma dos eletrodos a partir de erosão pelo plasma produzido e para resistir à formação de matéria particulada, assim aumentando o desempenho e estendendo a vida útil da fonte de plasma.