SISTEMA DE BOMBEAMENTO PARA A GERAÇÃO DE VÁCUO E MÉTODO DE BOMBEAMENTO

IPC Classification

Abstract

A presente invenção refere-se a um sistema de bombeamento para gerar um vácuo (SP), que compreende uma bomba de vácuo principal que é uma bomba de garra (3) tendo uma entrada de sucção de gás (2) conectada à câmara de vácuo (1) e uma saída de descarga de gás (4) que conduz para dentro de um conduto de evacuação de gás (5) na direção da saída de exaustão de gás (8) para fora do sistema de bombeamento. O sistema de bombeamento compreende uma válvula de não retorno (6) posicionada entre a saída de descarga de gás (4) e a saída de exaustão de gás (8), e uma bomba de vácuo auxiliar (7) conectada em paralelo com a válvula de não retorno. Em um método de bombeamento por meio do referido sistema de bombeamento (SP), a bomba de vácuo principal (3) é iniciada de modo a bombear os gases contidos na câmara de vácuo (1) e para descarregar os referidos gases através de sua saída de descarga de gás (4), simultaneamente a qual a bomba de vácuo auxiliar (7) é iniciada. Ademais a bomba de vácuo auxiliar (7) continua a bombear durante o tempo em que a bomba de vácuo principal (3) bombeia os gases contidos na câmara de vácuo (1) e/ou durante o tempo em que a bomba de vácuo principal (3) mantém a pressão definida na câmara de vácuo (1).