ALVO, PARTICULARMENTE ALVO DE PULVERIZAÇÃO, PROCESSO PARA PRODUÇÃO DE UM ALVO E PROCESSO DE REVESTIMENTO A VÁCUO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

A presente invenção refere-se a um alvo, particularmente alvo de pulverização, que compreende uma placa de alvo de um material frágil, e uma placa traseira, sendo que a placa traseira está conectada em sua superfície com a placa de alvo, e a placa de alvo apresenta microfissuras, que passam do lado anterior para o lado posterior da placa de alvo e dividem a placa de alvo em fragmentos adjacentes. Similarmente, a invenção refere-se a um processo para produção desse alvo. Um alvo de acordo com a invenção é particularmente apropriado para a aplicação das mais altas densidades de potência. A invenção refere-se igualmente a um processo de revestimento a vácuo, no qual é usado pelo menos um alvo de acordo com a invenção como alvo de pulverização, e, como resultado, densidades de potência especialmente altas podem ser usadas no alvo durante a pulverização.