APARELHO DE MEDIÇÃO DE DISTRIBUIÇÃO DE POTENCIAL DE SUPERFÍCIE TRIDIMENSIONAL

IPC Classification

Abstract

Um aparelho de medição de distribuição de potencial de superfície tridimensional (70) tem: uma fonte de luz do laser (13); um cristal Pockels (11); um espelho (14); um detector de luz (16); uma estrutura de suporte (31) que suporta os elementos antes mencionados enquanto mantendo uma relação posicional relativa entre eles; um acionador de movimento que pode mover a estrutura de suporte (31) de forma tridimensional; um acionador rotativo (35) que suporta o objeto de teste (8) e pode girar o objeto de teste (8) ao redor de um eixo que se estende em uma direção longitudinal do objeto de teste (8) e um controlador de acionamento (37) que controla o acionador de movimento e o acionador rotativo (35). O controlador de acionamento (37) coordena a operação de acionamento pelo acionador de movimento e pelo acionador rotativo (35) enquanto mantendo um vão entre a segunda face de extremidade (11b) do cristal Pockels (11) e uma superfície do objeto de teste (8) em um valor predeterminado, tal que a segunda face de extremidade (11b) do cristal Pockels (11) se aproxima de todas as superfícies do sistema de relaxamento do campo elétrico (3) no objeto de teste (8).