TÉCNICA PARA TRATAMENTO FOTODISRUPTIVO POR MÚLTIPLOS IMPULSOS DE UM MATERIAL

IPC Classification

Abstract

APARELHO PARA PROCESSAMENTO A LASER DE UM MATERIAL.Modalidades da invenção proporcionam um método e aparelho para processamento a laser de um material. No método e aparelho, um feixe limitado por difração de radiação laser pulsada é difratado por um dispositivo de difração para gerar um feixe difratado de radiação laser pulsada. O feixe difratado é subsequentemente focado sobre o material e é controlado no tempo e espaço para irradiar o material em uma posição de destino com radiação a partir de um conjunto de impulsos de radiação do feixe difratado de modo que cada impulso de radiação a partir do conjunto de impulsos de radiação seja incidente na posição de destino, com uma porção transversal do feixe difratado, a porção transversal, incluindo um máximo de intensidade local do feixe difratado. As porções transversais do feixe de, pelo menos, um subconjunto dos impulsos do conjunto incluem, cada uma, um máximo de intensidade local diferente. Desse modo, uma aplicação de múltiplos impulsos para a geração de uma fotodisrupção em uma localização de destino do material pode ser implementada.